- Penulis: Fitr Tanjuang
- Bahasa: Indonesia
- Jumlah Halaman: 25
- Format file: PDF
- Publisher: IlmuKomputer.Com
- Tahun terbit: Juli 2003
- Download makalah lengkap: fitr-cmos.zip
 LSI
 (Large Scale IC) terdiri dari komponen transistor dan elektronik 
lainnya yang dibuat dengan teknologi planar dari lapisan-lapisan film 
tipis. Seiring dengan tingkat scaling/miniaturisasi yang makin tinggi, 
ketebalan film semakin tipis, mendekati batas molekul film itu sendiri. 
Untuk menembus batasan ini, dan untuk terus meningkatkan performance dan
 fungsi LSI, material-material baru diriset dan dikembangkan secara 
besar-besaran untuk diintroduksi kedalam LSI. Disini akan dikenalkan 
perkembangan berbagai film tipis yang digunakan dalam LSI. Tulisan ini 
didasarkan pada paper Iwai Hiroshi dan Ohmi Shun-ichiro (Tokyo Institute
 of Technology) dari Jurnal Oyo Buturi terbitan Januari 2000 dengan 
berbagai tambahan dari berbagai sumber.
LSI
 (Large Scale IC) terdiri dari komponen transistor dan elektronik 
lainnya yang dibuat dengan teknologi planar dari lapisan-lapisan film 
tipis. Seiring dengan tingkat scaling/miniaturisasi yang makin tinggi, 
ketebalan film semakin tipis, mendekati batas molekul film itu sendiri. 
Untuk menembus batasan ini, dan untuk terus meningkatkan performance dan
 fungsi LSI, material-material baru diriset dan dikembangkan secara 
besar-besaran untuk diintroduksi kedalam LSI. Disini akan dikenalkan 
perkembangan berbagai film tipis yang digunakan dalam LSI. Tulisan ini 
didasarkan pada paper Iwai Hiroshi dan Ohmi Shun-ichiro (Tokyo Institute
 of Technology) dari Jurnal Oyo Buturi terbitan Januari 2000 dengan 
berbagai tambahan dari berbagai sumber.    
 
 

 




0 komentar:
Posting Komentar