12.22.2011

Pengantar CMOS: Perkembangan Material Film Tipis Penyusun Silikon Device

- Penulis: Fitr Tanjuang
- Bahasa: Indonesia
- Jumlah Halaman: 25
- Format file: PDF
- Publisher: IlmuKomputer.Com
- Tahun terbit: Juli 2003
- Download makalah lengkap: fitr-cmos.zip

LSI (Large Scale IC) terdiri dari komponen transistor dan elektronik lainnya yang dibuat dengan teknologi planar dari lapisan-lapisan film tipis. Seiring dengan tingkat scaling/miniaturisasi yang makin tinggi, ketebalan film semakin tipis, mendekati batas molekul film itu sendiri. Untuk menembus batasan ini, dan untuk terus meningkatkan performance dan fungsi LSI, material-material baru diriset dan dikembangkan secara besar-besaran untuk diintroduksi kedalam LSI. Disini akan dikenalkan perkembangan berbagai film tipis yang digunakan dalam LSI. Tulisan ini didasarkan pada paper Iwai Hiroshi dan Ohmi Shun-ichiro (Tokyo Institute of Technology) dari Jurnal Oyo Buturi terbitan Januari 2000 dengan berbagai tambahan dari berbagai sumber.

0 komentar:

Posting Komentar