- Penulis: Fitr Tanjuang
- Bahasa: Indonesia
- Jumlah Halaman: 25
- Format file: PDF
- Publisher: IlmuKomputer.Com
- Tahun terbit: Juli 2003
- Download makalah lengkap: fitr-cmos.zip
LSI
(Large Scale IC) terdiri dari komponen transistor dan elektronik
lainnya yang dibuat dengan teknologi planar dari lapisan-lapisan film
tipis. Seiring dengan tingkat scaling/miniaturisasi yang makin tinggi,
ketebalan film semakin tipis, mendekati batas molekul film itu sendiri.
Untuk menembus batasan ini, dan untuk terus meningkatkan performance dan
fungsi LSI, material-material baru diriset dan dikembangkan secara
besar-besaran untuk diintroduksi kedalam LSI. Disini akan dikenalkan
perkembangan berbagai film tipis yang digunakan dalam LSI. Tulisan ini
didasarkan pada paper Iwai Hiroshi dan Ohmi Shun-ichiro (Tokyo Institute
of Technology) dari Jurnal Oyo Buturi terbitan Januari 2000 dengan
berbagai tambahan dari berbagai sumber.
0 komentar:
Posting Komentar