Tutorial Pembuatan LSI: Bagaimana LSI Dibuat? Teknologi Proses

- Penulis: Fitr Tanjuang
- Bahasa: Indonesia
- Jumlah Halaman: 109
- Format file: PDF
- Publisher: IlmuKomputer.Com
- Tahun terbit: Juli 2003
- Download makalah lengkap (PDF): fitr-lsi.zip

Proses teknologi pembuatan LSI (Large Scale IC, dimana dalam 1 chip berukuran 1 cm2 terdapat ratusan ribu sampai puluhan juta komponen transistor), merupakan gabungan dari teknologi elektronika dan mekanika, ilmu fisika dan kimia, material dan metalurgi, thermal dan vacuum, serta berbagai iptek dasar lainnya.

Pada tulisan ini, ditampilkan secara berurut proses flow pembuatan LSI dengan mengambil contoh rangkaian Logic CMOS.